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16A匀胶机 伺服电机匀胶机 100-9900转

16A伺服匀胶机主要用于光刻胶涂布、涂硼等工艺过程,该设备具有匀胶效率高,使用方便等特点。其匀胶速度、时间分多个时段,并分别无级可调。
电器线路可靠,电机运转平稳,特别是电机转矩大,优于同类产品。
吸片采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率。

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产品详情
16A伺服匀胶机


 
概述
16A伺服匀胶机主要用于光刻胶涂布、涂硼等工艺过程,该设备具有匀胶效率高,使用方便等特点。其匀胶速度、时间分多个时段,并分别无级可调。
电器线路可靠,电机运转平稳,特别是电机转矩大,优于同类产品。
吸片采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率。
 
 
主要技术参数
工作电源:AC200-230V,单相,200W;
装片直径:10/20/30....100mm,选择两只;
程序组:1-5段(编辑页面),12组;
匀胶时间:3000S,分辨率0.1S;
速度范围:100-10000RPM;
速度修正:通过A/K选择Kx试运行可自动修正转速,再回到Kx使用
加速度(空载):100-5000RPM/S  分辨率1RPM/S ;
外形尺寸:250mm(W)x420mm(D)x230mm(H)不含锅的高度;
重量 :匀胶机14KG,选配件真空泵5KG;
真空输入要求:0.06-0.09MPa,真空流量最小15升/Min以上;
真空接口:自带6mm管1米;  
需要修改程序结束后的真空释放时间,防止最后飞片;
需要脚踏启动,自动打开真空阀;
需要加速度调节,大小轻重物品全适应;
需要微调转速,使实际转速与设定值相同,使用K1-K8,KUTO模式;
 
操作步骤
接通外部真空系统,接通外电源,打开电源开关,用【工艺参数】键,选择“A1”,若需要修改速度和时间,按一下【运行修改】键,结合【↑】【↓】键,再用【+】【-】键调速度和时间至工艺要求,若有实际转速误差,有微调的办法。
放基片于吸盘中心处,打开红色真空开关,检查基片是否吸牢,(严禁对小于吸盘抽气槽外圆的基片涂胶)。将适量光刻胶滴于基片中心处,按下绿色匀胶开关,。。。。。。(有异常情况,可按一下绿色的匀胶启动按钮,吸盘将停止)等待电机停止转动后,关闭真空、取片。
3.   根据光刻胶的粘度和工作环境温度选择适当转速,一般匀胶时间大约5~20秒之间。
4.   将匀过胶的玻璃片立放在玻璃卡盘上放入金属盒中,根据胶的要求放入温箱进行前烘,一般的光刻胶前烘温度90℃30分钟。
5.   匀胶机必须关闭上盖后启动、匀胶机转动时严禁用手触摸。用手去抓匀胶机吸盘,能导致本机保护,需返厂处理,请知悉。
 
注意事项
严禁对小于吸盘抽气槽外圆的基片涂胶。设备用完请取下吸盘,防止胶液黏住吸盘
定期清理接胶盘中的胶液,防止液位过高,灌入电机。
根据具体工作环境,定期检查真空管路,定期清理电磁阀,使机器保持正常状态。
检修时应切断电源!!!
 
成套供应单
匀胶机主机   一台
接胶盘    对应吸盘的尺寸
配套吸盘   2只
真空泵  自备或者我店铺内无油真空泵

北京科汇华晟技术开发有限公司

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